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8486303900 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 台/千克 13% 详情
8486303100 制造平板显示器用分步重复光刻机 台/千克 13% 详情
8486302900 其他制造平板显示器用薄膜沉积设备 台/千克 13% 详情
8486302200 制造平板显示器用物理气相沉积装置 台/千克 13% 详情
8486302100 制造平板显示器用化学气相沉积装置 台/千克 13% 详情
8486301000 制造平板显示器用扩散、氧化、退火及其他热处理设备 台/千克 13% 详情
8486209000 其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 台/千克 13% 详情
8486205000 制造半导体器件或集成电路用离子注入机 台/千克 13% 详情
8486204900 其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 台/千克 13% 详情
8486204100 制造半导体器件或集成电路用等离子体干法刻蚀机 台/千克 13% 详情
8486203900 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 台/千克 13% 详情
8486203100 制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机 台/千克 13% 详情
8486202900 其他制造半导体器件或集成电路用薄膜沉积设备 台/千克 13% 详情
8486202200 制造半导体器件或集成电路用物理气相沉积装置 台/千克 13% 详情
8486202100 制造半导体器件或集成电路用化学气相沉积装置 台/千克 13% 详情
8486201000 氧化、扩散、退火及其他热处理设备 台/千克 13% 详情
8486109000 其他制造单晶柱或晶圆用的机器及装置 台/千克 13% 详情
8486104000 制造单晶柱或晶圆用的化学机械抛光设备 台/千克 13% 详情
8486103000 制造单晶柱或晶圆用的切割设备 台/千克 13% 详情
8486102000 制造单晶柱或晶圆用的研磨设备 台/千克 13% 详情
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